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科技小辭典》EDA與EUV

微影設備是利用光線的波長來加工精密尺寸的晶片。(路透資料照)

EDA工具

電子設計自動化(Electronic design automation;EDA)工具是電腦輔助設計軟體(CAD)的一種威而鋼藥局,威而鋼線上購買,威而鋼購買,威而鋼哪裡買,威而鋼哪買,但更為專業及複雜,是用來完成超大型積體電路(VLSI)晶片的功能設計、綜合、驗證、物理設計(佈局、佈線、版圖、設計規則檢查等)等流程的自動化工具。

EDA工具有多重要?就如同蓋座農舍或可用手繪設計圖,但興建一○一大樓就得考量承重、結構、風切及制震等複雜需求,沒有EDA不僅影響晶片研發時程、甚至難以開發。

EDA市場現由Synopsys、Cadence、Mentor Graphics等3家美企寡佔壟斷,市佔率達8成。所以美國今年5月15日對華為實施新禁令,才將EDA工具也列入其中,與高階晶圓設備並列。

EUV設備

微影設備是利用光線的波長來加工精密尺寸的晶片,俗稱為「蝕刻機、光刻機」。最早微影設備光源是採用汞燈產生的紫外光源,從g-line發展到i-line,波長從463奈米縮小到365奈米;另一種是深紫外光源(Deep Ultraviolet;DUV),波長可從KrFi的248奈米發展到ArFi的193奈米;最新技術的極紫外光源(Extreme Ultraviolet;EUV),更將波長縮減至13.5奈米,波長不同效率差很大。

(製表整理︰記者高嘉和)

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